Mechatronik Referenzprojekt Bild 1

Alle Medien unter Kontrolle

Schaltag für OC Oerlikon Balzers: Mitkonstruktion und Fertigung von Anlagen zur Waferbeschichtung

Für die Metallbeschichtung von Wafern ist höchste Präzision unter Reinraum-Bedingungen Voraussetzung. Die Beschichtungsprozesse in der Vakuumkammer durchlaufen exakt gesteuerte Prozesse unter Einsatz diverser Medien. Das erfordert einerseits eine präzise steuerbare Hardware, andererseits eine programmierbare Steuerung.
Die Aufgaben der Schaltag: